仪器简介:
FF200/1200系列复合分子泵,是涡轮抽气级和盘型牵引压缩级组合而成的真空获得设备。涡轮抽气级具有大抽速,盘型压缩级具有高压缩比的组合,所以,该复合分子泵具有高的压缩比,从而使被抽系统获得更高的真空环境,同时,在高压强下具有稳定抽速的特性。
FF200/1200系列复合分子泵具有操作简单、安装方便、启动快、低振动、低功耗的特点,与被抽系统垂直安装,可根据系统的联接法兰,选用LF型胶圈密封接口或CF型金属圈密封接口。
技术参数:
FF-200/1200分子泵技术参数表
型号 FF-200/12
抽气速率(l/s) 1200
压缩比 N2:109;H2:6×103
极限压强(Pa) ≤1×10-6
额定转速(rpm) 27000
启动时间(min) <8
排气口法兰 KF40(DN)
进气口法兰 DN200LF(DN200CF)
振动值((m)) ≤0.1
建议前级泵(l/s) 15
冷却水温度(℃) ≤25
泵体烘烤温度(℃) ≤100
环境温度(℃) 5-40
安装方式 竖直±5°
重量(kg) 39