技术参数：
名义抽气速率注1 L/s　　 600
极 限 压 力注2 Pa　　 6×10-8
　　　　　　　　　　　　 6×10-7
启动时间　　 min　　 ≤7
振动　　　　 μm　　 ≤0.1
噪 声　　　　 dB　　 < 65
转速　　　　 rpm　　 36000
进气口通径　　 mm　　 160
出气口通径　　 mm　　 40
电源启动功率 W　　 ≤500
电源消耗功率 W　　 < 240
使用轴承　　　　　　　　 精密陶瓷轴承
冷却方式　　　　　　　　 水冷
安装方式　　　　　　　　 垂直


主要特点：
1.高极限真空
整体加工转子，加工精度、装配精度提高，转子强度得到提高，可运转于更高的工作转速，抽速、极限真空均得到提高。
2.大抽速
高压强区抽速进一步得到提高。
3.高可靠性
转子强度提高，重量进一步降低，采用陶瓷球轴承，分子泵的运转可靠性、寿命得到增强。
4.强抗冲击性
整体加工转子刚度得到提高。抗冲击、防大气突入能力进一步得到提高。
5.性能一致性
转子采用整体加工，克服了分片组装转子所不可避免的级间返流问题。减少了多个产品间性能的不一致性。