型号	F-400/3500	F-400/3500N
抽气速率（L/s）	3500	3500
压缩比	N2：108；H2：5×102	N2：108；H2：5×102
极限压强（Pa）	≤6×10-6	≤6×10-6
排气口法兰	DN100 LF	DN100 LF
进气口法兰	DN400 LF	DN400 LF
轴承	精密陶瓷轴承	精密陶瓷轴承（需通保护气体）
启动时间（min）	＜18	＜18
额定转速（rpm）	13500	13500
振动值（(mm)）	≤0.5	≤0.5
建议前级泵（L/s）	30	30
冷却水温度（℃）	≤25	≤25
泵体烘烤温度（℃）	≤80	≤80
环境温度（℃）	5-40	5-40
充油量(ml)	150	150
水嘴	内径Φ10 直插自密封	内径Φ10 直插自密封
安装方式	竖直±5°	竖直±5°
重量（kg）	136	136