特 長
●接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ
●到達圧力性能を向上させた、ドライ真空ポンプの高真空タイプ
●ターボ分子ポンプの補助ポンプに使用可能
●サーマルプロテクター内蔵による安全設計
●大気圧からの作動が可能
●シンプル構造で、メンテナンスが容易
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