ドライポンプ省電力化アタッチメント　ECO-SHOCK

ECO-SHOCKは、現在ご使用のドライポンプに取り付けることによって、ドライポンプの消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。

　主に、半導体?FPD製造ラインの不活性ガス排気用途でご使用中のドライポンプに最適です。

特　　長

●省エネ対策に大きく貢献

      ドライポンプの消費電力を最大80％（当社比）削減可能※1

      ドライポンプの発熱を抑える効果もあり空調機器の電力削減が可能

       ECO-SHOCKの運転には65Wの電力のみで、N2や冷却水は不要

※可燃性、支燃性、有毒性ガス等を排気する用途にはご使用いただけません

●容積移送型ドライポンプで効果を発揮…

      多段ルーツ型で大きな効果を発揮※2

       1000Pa以下の連続運転時間が多い用途での効果大

●ドライポンプの性能を改善

      到達圧力性能の向上が期待可能

      排気の騒音を低減可能

      全圧力領域にて排気速度の低下無し

●ユーザフレンドリー

      排気配管にバルブユニットを取り付けることにより設置が可能※3

※１      取り付け機種やドライポンプの使用ガス量などにより消費電力削減率は異なります。

※２      クロールーツ型、スクリュー型、軸シール構造などにより使用できない場合もありますので、ご使用前に弊社営業または最寄りのアルバックテクノ㈱ＣＳセンターへお問い合わせください。

※３      ポンプの設置環境より一部改造などが必要な場合があります。最寄りのアルバックテクノ㈱ＣＳセンターにて、現地取り付け工事を賜ります。

用　　途

●スパッタ、蒸着装置などのターボ分子ポンプの粗引き排気用ドライポンプの省エネ対策

●L／L室排気用ドライポンプの省エネ対策

●真空オーブン、真空乾燥器などの排気用ドライポンプの省エネ

●真空ラミネータ、真空パックなどの排気用ドライポンプの省エネ