LR/HR/URシリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスで
の高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCKとのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能
です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE対応可能（オプション）です。
特 長
●低温領域で均熱化（LRシリーズ）
PVDプロセスに加え、特にスループットを上げるために排気時間短縮が重要な仕込み取り出し室の排気に最適。
●高温領域で均熱化（HRシリーズ?URシリーズ）
CVD、エッチングなどで発生する昇華性排気物質を気体の状態で排出することが可能。
URシリーズはHRシリーズよりも、さらなる高温化が可能。
●ヘリウムタイト
キャンドモータ搭載により密閉構造のため極めて安全。
●瞬停対策
500msec以内の瞬停対策を施しています。
●優れた耐食性
主要部品には、表面硬度が高く耐食性に優れた特殊表面処理を標準採用。腐食性ガス排気時のポンプ内部の腐食を低減。
●通信機能
ポンプ運転状態に関するデータ、ワーニング／アラーム履歴を読み出すことが可能。専用ソフトを使用し?コンピュータ通信を行えば集中監視が可能。
●CE対応可能
CE対応はご発注時のご指定によるオプションになります。
用 途
●活性ガス排気（CVD、ドライエッチング等）
●不活性ガス排気（スパッタ、蒸着、熱処理等）
●仕込み取り出し室の排気時間短縮（LRシリーズ）
●粉体の発生するプロセスでの排気（Si単結晶引き上げ等）
●補助排気ポンプとして（ターボ分子ポンプ、メカニカルブースタポンプの補助排気）
排 気 速 度 曲 線
ポンプ本体サーモグラフィ
右図にHRシリーズポンプ運転時の温度分布（表面温度：℃）を示します。ガスが通過するポンプ本体部を空冷すると、表面温度110℃付近の高温領域で均熱化されます。尚、ポンプ内部のガス温度は更に高温になっています。SiH2Cl2を使用するSiN-LPCVDで発生するNH4Clや、Alエッチングで発生するAlCl3等の昇華性物質の排気に最適です。また、運転温度切り換えバルブの操作により、ポンプ本体を水冷すると、熱負荷のかかるプロセスや高温で反応するガスの排気に最適なポンプに変身します。
CVD、エッチングプロセスにおける代表的なプロセスガスの蒸気圧特性
CVD、エッチングプロセスにおける排気物質の蒸気圧曲線とHRシリーズ（高温型）の温度分布を示します。図中に示すポンプのシリンダ段数（1～6）の各ポイントは、CVD、エッチングプロセスで発生する様々な排気物質の蒸気圧曲線より下側（気体の領域）に位
置しています。すなわち、ポンプに吸引される様々な排気物質を気体の状態で通過させることが可能です。また、ポンプを通過する気体の分圧を変化させ、御社のプロセスに最適な条件を設定します。ぜひ、お問い合わせください。
