日本ORC，光源用设备，电子电路板生产设备，精准自动光蚀刻的曝光装置；

安定した搬送技術とアライメント技術と光学系を組み合わせて、金属板や被膜に細線パターンを形成する露光装置です。

特　徴：

1. 低発塵：
ハンドラによって基板を吸着して、パッケージ化された構成部品によるセクション間を搬送する真空吸着方式を採用していますので、完全なパーティークルフリーの露光環境を提供できます。

2. 高精度：
基板をプリアライメント部にセンタリングした後に、カメラ機構部に移動して基板マークとマスクマークを確認、位置整合する自動アライメント方式です。高性能多値化画像処理と高い信頼性のメカ機構により、高精度な位置合わせ精度を実現しています。

3. 高解像力：
コリメーション・ミラー、コールド・ミラーとフライアイ・レンズを組み合わせた高精度平行光光学系により、パターンニングに最適な光線を維持します。

4. 対話式タッチパネル：
対話式タッチパネルで操作が簡単です。

型号：EXP-2050