产品简介
UPP/SAS01型蓝宝石基片CMP浆料是江苏天恒纳米科技有限公司生产的新一代水溶性高纯度胶体浆料，主要用于蓝宝石高质量平整化加工。加工速率高，表面平整度、粗糙度达到国际先进水平，适用于各种加工方式，具有加工效率高、使用寿命长的特点，且光洁度高，悬浮性强，易清洗。该产品在实际应用中其卓越的性能也得到了充分的肯定，适用于中等以上精度要求的蓝宝石材质的抛光。
主要特点
UPP/SAS01型蓝宝石基片CMP浆料用特选的纳米SiO2水溶胶作为磨料，具有金属杂质沾污极少、易清洗、加工速率高、损伤层小、平整度高，避免晶片出现划伤等特点。在抛光中根据需要可以优化不同配比，均能达到最佳使用效果。与国内外同类产品相比，该产品具有浓缩度高、磨料粒径小、表面张力小、有机物、金属离子及颗粒沾污少、加工速率高、高温不出现非均匀蚀坑等优点。
主要用途
主要用于蓝宝石基片的高质量平整化加工。
基本参数
pH值 | 比重 | 粘度 | 磨料粒径 | 氧化钠含量（%） | 磨料浓度 | 外观 |
11.0-12.0 | ＞1.10 | ＜10（25℃，mPa.s） | 30-50（nm） | ＜0.3 | > 35% | 乳白 |
使用方法
UPP/SAS01型蓝宝石浆料建议和去离子水的配比为1:5,也可根据实际工艺要求改变配比。在进行抛光的过程中，建议适量添加碱性抛光助剂，有利于得到更好的抛光效果。
运输及保存
1、运输与存放温度为5ºC～50ºC。存放时应避光，以避免浆料变质。
2、保质期一年，建议半年内使用。
3、避免金属、颗粒污染，避免与强电解质的接触。
包装规格 25Kg/桶
