产品简介
UPP/SAS02型蓝宝石基片CMP浆料是江苏天恒纳米科技有限公司生产的新一代水溶性高纯度胶体浆料，主要用于蓝宝石高质量平整化加工。加工速率高，表面平整度、粗糙度达到国际先进水平，适用于各种加工方式，具有加工效率高、使用寿命长的特点，且光洁度高，悬浮性强，易清洗。
主要特点
UPP/SAS02型蓝宝石基片CMP浆料用特选的纳米SiO2水溶胶作为磨料，采用严格的粒径控制与配方，通过自主开发的化学增强抛光原理，统筹抛光液流变性能，对蓝宝石表面显示出高速的抛光效率、优质的抛光表面。具有金属杂质沾污极少、易清洗、加工速率高、损伤层小、平整度高，避免晶片出现划伤等特点。
主要用途
主要用于蓝宝石基片的高质量平整化加工。
基本参数
pH值 | 比重 | 粘度 | 磨料粒径 | 氧化钠含量（%） | 磨料浓度 | 外观 |
11.0-12.0 | ＞1.10 | ＜10（25℃，mPa.s） | 60-80（nm） | ＜0.3 | > 35% | 乳白 |
使用方法
UPP/SAS02型蓝宝石浆料建议和去离子水的配比为1:5,也可根据实际工艺要求改变配比。在进行抛光的过程中，建议适量添加碱性抛光助剂，有利于得到更好的抛光效果。
运输及保存
1、运输与存放温度为5ºC～50ºC。存放时应避光，以避免浆料变质。
2、保质期一年，建议半年内使用。
3、避免金属、颗粒污染，避免与强电解质的接触。
包装规格 25Kg/桶
