三维形貌测量系统

栅线投影三维形貌测量系统可用于物体表面三维形貌和变形测量。由于该系统既可配备10倍变焦远距离显微成像镜头，也可配备普通变焦镜头，使得该系统能同时满足细观及宏观的测量要求。不仅可用于微电子、生物、微机械等微细结构的形貌及变形测量，也可用于混凝土结构、岩土试样等大型构件表面形貌和变形测量。系统配有专用的相移条纹图像处理软件，使得系统测量精度明显提高，并且使用方便、操作简单。

（宏观）

主要技术指标：

1. 照明系统：光纤冷光源  150W
2. 显示速度：25帧/s
3. 图像采集分辨率：1280×1024
4. X、Y方向的有效测量范围：100×140mm2 ～1000×1400mm2。
5. X、Y方向的测量分辨力：～
6. 深度（Z）方向测量范围：30mm~300mm
7. Z方向测量分辨力：～
8. 采用10倍变焦镜头

基本配置:

1. TS-1000USB摄像头1只
2. C接口10倍变焦镜头2只
3. 相移正弦栅线投影仪1套
4. 150W光纤冷光源1套
5. 相移三维形貌测量处理软件

  用途：用于物体表面三维形貌和变形测量。