CQT-3000-DPJ硅片导片机应用于将50片料盒中的硅片导入到200片石英料盒中,以供下一工艺使用,反之则将200片石英料盒中硅片导出到50片料盒中亦可。
1.2产品特点
CQT-3000-DPJ硅片装片机相对人工倒片在于无污染,碎片率低,造成隐裂的可能性小。
本产品型号组成:“DPJ”代表导片机,“3000”代表设备速度级别参数。
1.3品种、规格
倒片机CQT-3000-DPJ
1.4使用环境条件
a)环境温度:0 ℃~40 ℃
b)相对湿度:<85%、无凝露
d)周围环境:无腐蚀性气体
1.5工作条件
产品工作条件为单相三线制电源,并有洁净压缩空气源
a)电源:220V 5A
b)洁净压缩空气:5~7 kg/cm2
1.6本产品对环境无污染。
主要技术参数
1.外形尺寸:1000(L)×1100(W)×1525(H)(mm)
2.装片效率:≥3000片/小时(石英舟内每格装一片)
3.碎片率:≤0.2/1000(原碎片除外)
4.工位数:二工位
5.设备使用125×125 (±0.5mm)(5英寸)或156×156 (±0.5mm)(6英寸)规格的硅片
4.功率、重量
4.1功率:≤1000W
4.2重量:约150kg