工艺

1．目的：本设备功能为将五盒成叠的方形硅片从料盒中取出，然后通过皮带线导入流水线，以供下一工艺使用。

2．适用尺寸：156×156 (±0.5mm)、125×125 (±0.5mm)；

厚度为160～280μm的方形硅片。

3．操作方式：全自动

设备环境要求

1．电源：   220V 50-60HZ 2.0kW

2．洁净压缩空气：5~7 kg/cm2

主要技术参数

1．外形尺寸：1300（L）×1200（W）×2330（H）（mm）

2．上料效率：3600-4000片/小时；

3．碎片率：≤0.5/1000（单晶）、0.6/1000（多晶）原碎片除外

4．工位数：5工位

5．设备兼容125×125 (±0.5mm)（5英寸）、156×156 (±0.5mm)（6英寸）两种规格的硅片，适用堆叠式上料硅片。

电气控制系统

1．安全保护装置：

（1）原碎片检出并紧急停止功能。

（2）漏电断路保护装置。

2．控制面板置于台面上，PLC控制，设备的工艺动作及各项工艺参数，可以通过触摸屏直接设置和操作，人机界面有程序过程

控制、故障报警、安全保护等功能。

3．存片量：设备上料位一次可放10篮硅片，每100片一篮。