新的紧凑型EPX500高真空干泵的特性是：工作性能更佳，运行成本更低。EPX500使用了独特的专利保护机械装置，能够从大气压抽空到小于7 x 10-5Torr的极限压力。

模块化EPX500基于备受赞誉、大获成功的IPX系列，可提供卓越的性能，与IPX相比，包装重量轻了20%、体积小了30%且功率降低了40%。

EPX系列涵盖广泛的应用，从水处理到中度工作负载的制程。

EPX“L”系列旨在用于泵送惰性气体混合物（如负荷锁定）且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。

功能和优势

• 紧凑的占地面积–作为可用的最小工具上泵之一，EPX显著节省了占地面积。EPX可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程安装。
• 低运行成本- EPX仅需要1.4 kW的功率和整合空闲模式，从而可最大化功率效率。
• 独特的专利保护机械装置– EPX可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力，并可以在所有进气口压力下连续工作。
• 超清洁机械装置–传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX泵没有高真空轴承底油脂，并且不存在任何其他的潜在污染源。
• 非常可靠– EPX基于经过现场验证的IPX技术，具有13年的MTBFp(SEMI E10)，大约每5年维修一次，最大程度地延长了泵的使用寿命。
• 可兼容的网络- EPX系列配有最终用户控制，可以连接到各种结构的网络，以进行诊断监视和控制。