概述

Edwards高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。
 
iH系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的PECVD和LPCVD制程）提供了高可靠性。

应用

• 负载锁
• 输送
• 计量
• 平版印刷
• PVD制程
• PVD预清洁
• RTA
• 剥离/灰化
• 刻蚀
• 植入源
• HDP CVD
• RTP
• SACVD
• MCVD
• PECVD
• LPCVD
• ALD

功能和优势

• 优化了设施消耗。
• 无需预防性维护。
• 悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
• 在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的CVD应用条件下的稳定性。
• 耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
• 较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
• 整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

 
所有数字均为无气镇时的典型值。