概述
EH机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是最受欢迎的泵，可用于压力范围为0.01至10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。
机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。
应用
- 半导体制程
- 真空蒸馏
- 真空包装
- 钢脱气
- 薄膜覆层
- 真空冶金
- 低密度风洞
- 空间模拟
- 真空浸渍
- 油干燥和脱气
- 制药冷冻干燥
- CO2激光
功能和优势
- 适用于在0.01至50 mbar/0.0075至37.5 Torr的压力范围下、需要超过3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高抽速的应用场合。
- 它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
- EH泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：
- o 安静的无振动运行。
- o 牢靠且防腐蚀。
- o 先进的轴封技术，处理舱中不会出现油污染
- 防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
- 经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到最低。
- 轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要最高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
- 动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。
技术数据
型号 | EH250 | EH500 | EH1200 | EH2600 | EH4200 |
排量（工作容积） | 310 m3h-1/ 185 ft3min-1 | 505 m3h-1/ 300 ft3min-1 | 1195 m3h-1/ 715 ft3min-1 | 2590 m3h-1/ 1525 ft3min-1 | 4140 m3h-1/ 2440 ft3min-1 |
使用前级泵时的有效抽速 | 240 m3h-1/ 141 ft3min-1 | 350 m3h-1/ 206 ft3min-1 | 840 m3h-1/ 495 ft3min-1 | 1750 m3h-1/ 1031 ft3min-1 | 3100 m3h-1/ 1825 ft3min-1 |
泵的压力差 | 0-180 mbar/0-140 Torr | 0-110 mbar/0-83 Torr | 0-90 mbar/0-68 Torr | 0-80 mbar/0-60 Torr | 0-60 mbar / 0-45 Torr |
进气口连接 | ISO63 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | ISO250 |
出口连接 | ISO40 | ISO63 | ISO100 | ISO100 | ISO100 |
转速 | 0-2900 rpm | 0-2900 rpm | 0-2900 rpm | 0-2900 rpm | 0-2900 rpm |
连续进气口工作压力 | 0-1000 mbar/0-760 Torr | 0-1000 mbar/0-760 Torr | 0-1000 mbar/0-760 Torr | 0-1000 mbar/0-760 Torr | 0-1000 mbar/0-760 Torr |
最大出口压力 | 1000 mbar/760 Torr | 1000 mbar/760 Torr | 1000 mbar/760 Torr | 1000 mbar/760 Torr | 1000 mbar/760 Torr |
推荐的前级泵 | GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80 | GV80，E2M80 | GV160、GV250、 | GV250、GV400、 | GV400、E2M275 |
电机功率 |
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碳氢化合物 | 2.2 kW / 3 hp | 2.2 kW/3 hp | 3 kW/4 hp | 11 kW/15 hp | 11 kW/15 hp |
PFPE | 1.5 kW / 2 hp | 1.5 kW/2 hp | 3 kW/4 hp | 7.5 kW/10 hp | 11 kW/15 hp |
ATEX | 2.2 kW | 2.2 kW | 3 kW | 11 kW | 11 kW |
防爆 | 3 hp | 3 hp | 4 hp | 15 hp | 15 hp |
环境温度范围 |
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工作 | 5至40°C/40至104°F | 5至40°C/40至104°F | 5至40°C/40至104°F | 5至40°C/40至104°F | 5至40°C/40至104°F |
存储 | -10至80°C/14至176°F | -10至80°C/14至176°F | -10至80°C/14至176°F | -10至80°C/14至176°F | -10至80°C/14至176°F |
最大工作湿度 | 90% RH | 90% RH | 90% RH | 90% RH | 90% RH |
推荐用油 | Ultragrade 20 | Ultragrade 20 | Ultragrade 20 | Ultragrade 20 | Ultragrade 20 |
油容量 |
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齿轮箱 |
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| 1.25 l/1.3 qt | 3.5 l/3.3 qt | 3.5 l/3.3 qt |
联轴器盖 | 1.5 l/1.6 qt | 1.5 l/1.6 qt | 1.5 l/1.6 qt | 6.5 l/7 qt | 6.5 l/7 qt |
轴封储油器 | 0.125 l/0.25 qt | 0.125 l/0.25 qt | 0.125 l/0.25 qt | 1.5 l/1.4 qt | 1.5 l/1.4 qt |
重量 | 61 kg/134 lb | 74 kg/163 lb | 74 kg/163 lb | 308 kg/679 lb | 400 kg / 882 lb |
