概述

EH机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是最受欢迎的泵，可用于压力范围为0.01至10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。

机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。

应用

• 半导体制程
• 真空蒸馏
• 真空包装
• 钢脱气
• 薄膜覆层
• 真空冶金
• 低密度风洞
• 空间模拟
• 真空浸渍
• 油干燥和脱气
• 制药冷冻干燥
• CO2激光

功能和优势

• 适用于在0.01至50 mbar/0.0075至37.5 Torr的压力范围下、需要超过3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高抽速的应用场合。
• 它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
• EH泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：
  • o   安静的无振动运行。
  • o   牢靠且防腐蚀。
  • o   先进的轴封技术，处理舱中不会出现油污染
• 防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
• 经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到最低。
• 轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要最高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
• 动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。

技术数据