半导体、微电子、LED行业超纯气体纯化器
美国Entegris NH3,H2,N2气体纯化器
气体纯化器定从分子水平将气体中的杂质去除的一种产品。例如将氧气从氮气中除去。其工作原理主要是化学反应，化学吸附和物理吸附。将气体纯化从ppm等级提高到ppb或ppt等級
常温下使用流量为1-1000slm的各种型号内置0.003微米过滤器出口气体中各杂质含量小于1ppb 可以由原厂再生使用成本低廉
晶圆代工厂对氮气使用的品质要求分为两种：* h/ K1 N0 X4 S6 W8 J$ I
GN2(一般氮气)
4 \1 d8 ^* [6 h3 H4 v纯度：5N（99.999%）+ B& a/ |3 T: R/ t
H2O ppb <2600$ \" E) y! F* E: @
O2 ppb <2000% K4 r0 l5 u. D1 F; D
CO ppb <10004 t f% ?1 `( U( L9 q: T
CO2 ppb <10003 S6 C: `; [, u3 q" r8 D
THC ppb <2000' q9 C$ K" k$ [ D6 ?0 g" _
H2 ppb <1000( \: s- }& q0 n, W. H4 B
Particle >0.1um pcs/scft 5
3 D* V! x7 \( i/ [5 ~/ ?PN2（高纯氮气）4 t) y; [% k5 h7 c3 p% v5 y
纯度：9N（99.9999999%）
v/ E$ ~' A2 Z# a3 o$ W8 k, BH2O ppb ≤1 R- s8 B0 Q, l% q
O2 ppb ≤1( X* N' O) p- l/ i/ B
CO ppb ≤1
# O0 c3 X& X; [. o; u4 ]5 V. mCO2 ppb ≤1' I- A2 c) Y* T' E5 T
THC ppb ≤1
7 R2 o: v+ X/ H BH2 ppb ≤1' [5 u% O& w" Z( V' J
Particle >0.1um pcs/scft <1
如有需求，欢迎来电咨询合作！; m ~- k5 b* A) W0 R
