小型真空镀膜装置 VPC-260F
VPC系列／小型真空镀膜装置
在管架上紧密安装了主泵、辅助泵、真空管、电力系统、压力测量口等必要机器的电阻加热式低成本小型真空蒸发装置。最适合用于小基板尺寸的基础研究开发等实验。
带脚轮，容易移动的排气装置。
通过玻璃钟罩可看到内部，操作性能良好。
不会使主泵停止运转，可以对真空槽进行开放。
通过蒸发电源和电极的追加，实现同时蒸镀和多层蒸镀。
向前头页
型 号
极限压力
排气时间
钟罩尺寸
馈通圈
标准基板・最大尺寸※1
蒸发电极结构
蒸发电源
主泵
液氮冷阱
前级泵
油雾过滤器
主阀门
副阀门
自动渗漏阀
控制
皮拉尼真空计
电离真空计
尺寸（主体）
尺寸（蒸发电源）
重量（主体）
重量（蒸发电源）
※1:不考虑基板最大尺寸时的膜厚分布值。
主体
主体 ： 单相, 100V
蒸发电源 ： 单相, 200V
VPC-260F
蒸发电源 SEREM
※如果您单击一个选项，您可以看到这个选项中的内容。
您对此产品的咨询信息已成功发送给相应的供应商，请注意接听供应商电话。
对不起，您对此产品的咨询信息发送失败，请稍后重新发起咨询。
VPC-260F
