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小型真空镀膜装置 VTR-350M/ERH |
 | | | 特 性 |
在管架上紧密安装了主泵、辅助泵、皮拉尼真空计、电离真空计、真空管、电力系统等必要机器的电阻加热式小型真空蒸发装置。DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。使用简单，最适合用于基础研究开发等实验。
| | | | 应 用 |
| 1. | 金属与有机材料镀膜装置。 | | 2. | 真空排气设备的多种组合。 | | 3. | 强化安全性与可靠性。 | | 4. | 多层镀膜与同时镀膜（最大：4 层）还配有额外蒸发电源与电极。 | | 5. | 玻璃钟罩方便观察与维护。 |
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型 号 | VTR-350M/ERH | | 真空性能 | 极限压力 | 4.0 × 10-4Pa
2.0 × 10-4Pa (使用液氮时)※1 | 排气时间 | 4.0 × 10-3Pa/10min
3.0 × 10-3Pa/10min (使用液氮时)※1 | | 真空舱 | 钟罩尺寸 | 玻璃钟罩 （直径300mm × 300mm(H)) | 馈通圈 | 12个端口（8侧面、4底面） | 标准基板・最大尺寸 ※2 | □50mm ・ □140mm（最大） | | 供电系统 | 蒸发电极结构 | 1点式 | 蒸发电源 | SEREM “PSE-150C”、 0 – 10V 、150A (最大) | | 排气系统 | 主泵 | 涡轮分子泵（气冷） 345 L/sec | 液氮冷阱 | 可选 | 前级泵 | 油旋片真空泵 200 L/min | 油雾过滤器 | 油雾过滤器 OMI-200 | | 操作系统 | 主阀门 | 蝶阀 | 副阀门 | 三向切换阀 | 自动渗漏阀 | 有 | 控制 | 手动控制 | | 控制系统 | 皮拉尼真空计 | GP-1G | 电离真空计 | GI-M2 | | 外形 | 尺寸（主体） | 730mm(W) × 584mm(D) × 1161mm(H) | 尺寸（蒸发电源） | 480mm(W) × 435.3mm(D) × 149mm(H) | 重量（主体） | 165kg | 重量（蒸发电源） | 40kg |
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※1 : LN2冷阱为选件。
※2 : 不考虑基板最大尺寸时的膜厚分布值。
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型 号 | VTR-350M/ERH |
| 电源需求 | 主体 | 单相, 100V, 1.4kVA |
蒸发电源 | 单相, 200V, 1.5kVA |
| 接地端子 | D级（接地抗阻/100Ω 或更低） |
| 附件 | 主体 ： 单相、100V | 乙烯绝缘软电缆（R3.5-4帯端子） 4m |
蒸发电源 ： 单相、200V | 乙烯绝缘软电缆（R2.0-5帯端子） 2m |
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 VTR-350M/ERH
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蒸发电源 SEREM |
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※根据研究和开发的目的、可以变更。
※如果您单击一个选项，您可以看到这个选项中的内容。 | 向前头页 |
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