【DEPOX系列／小型真空镀膜装置(蒸发镀膜）】价格_厂家

DEPOX系列／小型真空镀膜装置(蒸发镀膜）

1台起批

￥170000.00

上海市黄浦区北京东路668号B区906

产品属性

图文详情

品牌推荐

品牌/型号

ULVAC

电镀位置

浸镀

规格

VFR-200M/ERH,VFR-400M/ERH

镀种

真空镀膜

品牌

ULVAC

加工定制

是

小型真空镀膜装置 VWR-200M/ERH

DEPOX系列／小型真空镀膜装置

特　性

在管架上紧密安装了主泵、辅助泵、皮拉尼真空计、电离真空计、真空管、电力系统等必要机器的电阻加热式小型真空蒸发装置。DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。使用简单，最适合用于基础研究开发等实验。

应　用

1.	金属与有机材料镀膜装置。
2.	真空排气设备的多种组合。
3.	强化安全性与可靠性。
4.	多层镀膜与同时镀膜（最大：4 层）还配有额外蒸发电源与电极。
5.	玻璃钟罩方便观察与维护。

规格参数

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型　号		VFR-200M/ERH
真空性能	极限压力	8.0 × 10-4Pa 6.0 × 10-4Pa (使用液氮时)
真空性能	排气时间	4.0 × 10-3Pa/15min 3.0 × 10-3Pa/15min (使用液氮时)
真空舱	钟罩尺寸	玻璃钟罩（直径300mm × 300mm(H))
	馈通圈	12个端口（8侧面、4底面）
	标准基板・最大尺寸 ※1	□50mm ・ □140mm（最大）
供电系统	蒸发电极结构	1点式
供电系统	蒸发电源	SEREM　“PSE-150C”、 0 – 10V 、150A (最大)
排气系统	主泵	油扩散泵（气冷） 200 L/sec
	液氮冷阱	有
	前级泵	油旋片真空泵 100 L/min
	油雾过滤器	油雾过滤器　OMI-100
操作系统	主阀门	蝶阀
	副阀门	三向切换阀
	自动渗漏阀	可选
	控制	手动控制
控制系统	皮拉尼真空计	GP-1G
控制系统	电离真空计	GI-M2
外形	尺寸（主体）	730mm(W) × 603mm(D) × 1161mm(H)
	尺寸（蒸发电源）	480mm(W) × 435.3mm(D) × 149mm(H)
	重量（主体）	145kg
	重量（蒸发电源）	40kg

※1: 不考虑基板最大尺寸时的膜厚分布值。

条　件

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型　号		VFR-200M/ERH
电源需求	主体	单相, 100V, 1.4kVA
电源需求	蒸发电源	单相, 200V, 1.5kVA
接地端子		D级（接地抗阻/100Ω 或更低）
附件	主体：单相、100V	乙烯绝缘软电缆（R3.5-4帯端子） 4m
附件	蒸发电源：单相、200V	乙烯绝缘软电缆（R2.0-5帯端子） 2m

外形图

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VFR-200M/ERH

蒸发电源　SEREM

馈通圈

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标准构造

※根据研究和开发的目的、可以变更。

可选部件

※如果您单击一个选项，您可以看到这个选项中的内容。

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小型真空镀膜装置 VWR-400M/ERH

DEPOX系列／小型真空镀膜装置

特　性

应　用

1.	金属与有机材料镀膜装置。
2.	真空排气设备的多种组合。
3.	强化安全性与可靠性。
4.	多层镀膜与同时镀膜（最大：4 层）还配有额外蒸发电源与电极。
5.	玻璃钟罩方便观察与维护。

规格参数

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型　号		VWR-400M/ERH
真空性能	极限压力	4.0 × 10-4Pa 3.0 × 10-4Pa (使用液氮时)
真空性能	排气时间	4.0 × 10-3Pa/10min 3.0 × 10-3Pa/10min (使用液氮时)
真空舱	钟罩尺寸	玻璃钟罩（直径300mm × 300mm(H))
	馈通圈	12个端口（8侧面、4底面）
	标准基板・最大尺寸 ※1	□50mm ・ □140mm（最大）
供电系统	蒸发电极结构	1点式
供电系统	蒸发电源	SEREM　“PSE-150C”、 0 – 10V 、150A (最大)
排气系统	主泵	油扩散泵（水冷） 400 L/sec
	液氮冷阱	有
	前级泵	油旋片真空泵 200 L/min
	油雾过滤器	油雾过滤器　OMI-200
操作系统	主阀门	蝶阀
	副阀门	三向切换阀
	自动渗漏阀	可选
	控制	手动控制
控制系统	皮拉尼真空计	GP-1G
控制系统	电离真空计	GI-M2
外形	尺寸（主体）	730mm(W) × 709mm(D) × 1161mm(H)
	尺寸（蒸发电源）	480mm(W) × 435.3mm(D) × 149mm(H)
	重量（主体）	148kg
	重量（蒸发电源）	40kg

※1: 不考虑基板最大尺寸时的膜厚分布值。

条　件

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型　号		VWR-400M/ERH
电源需求	主体	单相, 100V, 1.6kVA
	蒸发电源	单相, 200V, 1.5kVA
接地端子		D级（接地抗阻/100Ω 或更低）
附件	主体：单相、100V	乙烯绝缘软电缆（R3.5-4帯端子） 4m
	蒸发电源：单相、200V	乙烯绝缘软电缆（R2.0-5帯端子） 2m
用水需求		2.0L/min　（水温：低于20-25℃、水压：200kPa）
附件		Rp1/4 (带"Kantouch"软管接头)
推荐软管 ※		蒂托轮编织软管（内径9mm×外径15mm）

※ 冷却水管由客户自己准备。

外形图

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VWR-400M/ERH

蒸发电源　SEREM

馈通圈

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标准构造

※根据研究和开发的目的、可以变更。

可选部件

※如果您单击一个选项，您可以看到这个选项中的内容。

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