XY编码器或者叫栅格,在X和Y方向上以10um的作为基础周期,整个计量系统则以5um的作为测量周期。NG用三相90-element的探测器从栅格中捕捉第一阶的激光通过衍射方式反射过来的信号。这三个信号为极小的移动提供一个非常明确的测量相位。
概述 | NG-A-PCI是用于测量二维超精密的平面位移的测量系统。NG是一个XY网格编码器系统,湍流效应是激光干涉仪经常会遇到的,该系统也可以避免与相单独线性尺度关联的阿贝误差。NG在制造栅格的过程中,能够保证其达到激光干涉仪的精度,并且以一个更经济的价格、更实用和更坚固的制造工艺来封装它。 | 应用领域 | ◆ | 高精度低成本的位置控制; | ◆ | 实时校准; | ◆ | 精密金刚石车削实验室; | ◆ | 镜头自动对焦; | 主要特点 | ◆ | 亚纳米的分辨率; | ◆ | 重复性小于5nm; | ◆ | 低阿贝误差; | ◆ | 对湍流效应及大气压强变化不敏感; | ◆ | 占地面积小,重量轻; | ◆ | 可选真空版本; | ◆ | 易于安装,包括栅格安装的应力消除; | ◆ | 栅格和探头的间隙为12mm; | ◆ | 对准误差低; | ◆ | 完善的技术支持;可定制; | ◆ | 高速运作; | | | |
推荐产品 |
| NG-B二维精密计量纳米编码器 |
| NG-A高分辨率纳米编码器 |
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技术规格安装尺寸 NG-A-PCI | 系统性能 | 重复性 | ±5nm | 精度* | 见下图 | *(更多NG系统精度信息请访问www.51sensors.com) | 最大跟踪速度 | 4m/s | 编码器到探头间隙 | 12.0±0.05mm | 测量区域 (其它可用的) | 40×45mm, 150×150mm 210×210mm, 380×380mm | 工作温度 | +10°C~+40°C | 存储温度 | –20°C~+50°C | NG探头 | 尺寸 | 23.5×47.0×60.5mm | 外壳材料 | 6061-T6铝 | 光源(785nm) | Class
IIIb,35mw,激光二极管 | 重量(不包括线缆) | 110g | 接口线缆 | 3m,15针接头 | 双轴高分辨率处理器 | 分辨率 | LSB = 5μm ÷ 214
≈0.305 nm | 更新频率/轴 | 2MHz(并行输出) | 范围 | ~1300mm(32位翻转) | 数据传输时间 | <1.2μs;静态<25ns | 接口 | 25针测试接口 2个60针并行接口 32位PC总线:33MHz@3.3或者5V 连接探头的15针HD | 输出格式 | 32位并行字 | A-quad-B(可选) | 边缘频率: 2.5, 5, 10,
20MHz 分辨率: 5μm÷2N; N = 9 to 14; ≈0.3 ~ 9.8
nm 频率和分辨率可选
| 机械性 | PCI兼容32位PC板 | 电源(不包括A-quad-B) | +5VDC (+0.25/-0.13
V)@ 0.5 A; +12VDC ±0.5V @120 mA; –12VDC ± 0.5V @150
mA | NG编码器 | 间距(机械/光学) | 10 μm /
5μm | 钠钙膨胀系数 | 7.0 ×
10-6/°C | 石英(熔石英)膨胀系数 | 0.7 ×
10-6/°C | 如果想采用其他材料,请咨询工厂 |
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