NS是一款用于线性测量的超精密干涉编码器测量系统。它可以避免激光干涉仪经常会遇到的湍流效应，同时提供纳米级可重复性和分辨率。NS兼容大多数现有的设计平台。
概述 | NS传感器是一款采用二极管光源的高精密的电子设备。它用三相90-element的探测器通过扫描方式捕捉第一阶的激光通过衍射方式反射过来的信号，经过高度准确的插值方法和编码器对反射不敏感的条件下，这三个信号提供一个非常明确的测量相位。 | 应用领域 | ◆ | 高精度低成本的位置控制； | ◆ | 实时校准； | ◆ | 精密金刚石车削实验室； | ◆ | 镜头自动对焦； | 主要特点 | ◆ | 亚纳米的分辨率； | ◆ | 高速； | ◆ | 对湍流和大气压力的变化不敏感； | ◆ | 重复性≤5nm； | ◆ | 兼容性好，不需要更换主要设计就可以替换现有的计量系统； | ◆ | 占地面积小，重量轻； | ◆ | 可选真空版本； | ◆ | 对准误差低； | ◆ | 完善的技术支持；可定制； | | | |
推荐产品 | 
| NG-B二维精密计量纳米编码器 | 
| NG-A高分辨率纳米编码器 |
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 技术规格安装尺寸
NS-A | 系统性能 | 重复性 | ±5nm | 精度（175mm×175mm）* | ±200nm | 精度（380mm×380mm）* | ±1.0μm | *（温度变化±0.25℃） | 最大速度 | 700mm/s | 编码器到探头间距 | 3.0±0.1mm | 尺寸 | 最大380mm | 工作温度 | +10°C～+40°C | 存储温度 | –20°C～+50°C | NS探头 | 外形尺寸 | 61mm*33mm*17mm | 外壳材料 | 6061-T6铝 | 光源（785nm） | Class
IIIb，3mw，激光二极管 | 重量（不包括线缆） | 70g | 接口线缆 | 18
"色带
9针D型连接器 | 高分辨率处理器板 | 分辨率 | LSB = 5μm ÷
214 ≈0.305 nm | 更新频率/轴 | 375KHz（并行输出） | 范围 | ～1300mm（全部32位） | 数据传输时间 | <8μs；静态<25ns | 接口 | 25针测试连接头
2个60针并行连接头
PC兼容的16位ISA总线
15针HD连接探头 | 输出格式 | 32位并行字 | A-quad-B（可选） | 边缘频率: 1.875, 3.75,
7.5, 15MHz
分辨率: 5μm÷2N; N = 9~14;
≈0.3~9.8
nm
边缘频率和分辨率可选 | 机械性 | ISA兼容16位PC板 | 电源（不包括A-quad-B板） | +5VDC (+0.25/-0.13
V)@ 2.2 A;
+12VDC ±0.5V @120 mA;
–12VDC ± 0.5V @70
mA | NS编码器 | 间距（机械/光学） | 10 μm /
5μm | 钠钙膨胀系数 | 7.0 ×
10-6/°C | 石英（熔石英）膨胀系数 | 0.7 ×
10-6/°C | 如果想采用其他材料，请咨询工厂 |
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