XY编码器或叫栅格，在X和Y方向上以10um的作为基础周期，整个计量系统则以5um的作为测量周期。NG用三相90-element的探测器从栅格中捕捉第一阶的激光通过衍射方式反射过来的信号。这三个信号为极小的移动提供一个非常明确的测量相位。
概述 | NG
XY计量系统用于测量二维超精密平面位移，NG是一款可以避免湍流效应的基于栅格的XY的编码系统，湍流效应是激光干涉仪经常会遇到的，该系统也可以避免与相单独线性尺度关联的阿贝误差。NG在制造栅格的过程中，能够保证其达到激光干涉仪的精度，并且以一个更经济的价格、更实用和更新坚固的制造工艺来封装它。 | 应用领域 | ◆ | 高精度低成本的位置控制； | ◆ | 实时校准； | ◆ | 精密金刚石车削实验室； | ◆ | 镜头自动对焦； | 主要特点 | ◆ | 测量重复性为±20nm； | ◆ | 低阿贝误差； | ◆ | 对湍流和大气压强的变化不敏感； | ◆ | 分辨率可选20nm； | ◆ | 易于安装； | ◆ | 栅格和探头之间的间隙为12mm； | ◆ | 对准误差低； | ◆ | 可选真空版本； | ◆ | 完善技术支持，可定制； | ◆ | 标准的A-quad-B
输出； | ◆ | 低成本的超精密XY计量系统。 | | | |
推荐产品 | 
| NG-A高分辨率纳米编码器 | 
| NG-A-PCI
高分辨率纳米编码器 |
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 技术规格安装尺寸
NG-B | 系统性能 | 重复性 | ±20nm | 精度（175mm×175mm）1 | ±200nm
满量程 | 精度（380mm×380mm）1 | ±1.0um
满量程 | 1（温度变化±0.25℃） | 最大速度2 | 1400mm/s | 2(V-MAX=[最大边缘频率] X
[LSB]) | 编码器到探头间距 | 12.0±0.1mm | 测量区域
（其它区域可选） | 40×45mm,
150×150mm
210×210mm, 380×380mm | 工作温度 | +10°C～+40°C | 存储温度 | –20°C～+70°C | NG探头 | 外形尺寸 | 23.5×47.0×60.5mm | 外壳材料 | 6061-T6铝 | 光源（785nm） | Class
IIIb，3mw，激光二极管 | 重量（不包括线缆） | 110g | 接口线缆 | 3m，15针接头 | 双轴POLARFLASH处理器（A-quad-B） | 分辨率（可选） | LSB=5um÷2N；N=5,6,7,8；
≈20、39，78，156nm | 最大边缘频率（可选） | 1.25，2.5，5，10MHz | 数据传输时间 | <4us | 输出格式 | A-quad-B差分TTL/每根轴 | 外形尺寸 | 127mm X 84mm X
24mm | 输出格式 | 32位并行字 | 供电 | +5DVC（±0.25V）@350mA | NG编码器 | 间距（机械/光学） | 10 μm /
5μm | 钠钙膨胀系数 | 7.0 ×
10-6/°C | 石英（熔石英）膨胀系数 | 0.7 ×
10-6/°C | 如果想采用其他材料，请咨询工厂 |
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