该清洗线应用于低温多晶硅玻璃清洗，对玻璃基板进行次清洗及干燥的加工处理。

 清洗玻璃基板尺寸：1100mm×1400mm  δ0.3～3mm

  基板传递方向：操作界面从左到右

处理时间：标准17秒/片   标准运送速度 约1.8m/min

基板水平基准：地面至基板下面1000mm