YX-2D6晶体定向仪是在标准定向仪基础上,针对单晶硅、砷化稼、蓝宝石等多种晶体设计,主要用于晶圆片、晶棒的测量,对管套、测角仪进行改进,显示器为外置式,样品台加装承重轨道,可测2---6英寸晶圆片,长400毫米,重30公斤的晶棒;主要测量晶面角度:110、111、100、511等及其它相关晶体的晶向角度。
YX-2D6射线晶体定向仪标准配置为GA、GC、测角仪。
两边测角仪用户也可根据本公司晶体规格、形状选配不同型号测角台,请参考我公司设计的G系列测角仪(GA、GB、 GC、 GE、 GF、GH)型号选购.
技术参数
X射线管 | 铜靶,阳极接地,强迫风冷 |
管电压 | 30KVP,全压合闸 |
管电流 | 0-5mA,连续可调 |
整机功率 | 交流220V 不大于0.3KW |
综合精度 | ±30″ |
角度数字显示 | 以度、分、秒显示,最小读数10″ |
计数器旋转角度 | 2θ角-10°------+110° |
样品晶体旋转角度 | θ角-10°------+55° |
计数管 | 盖革计数管,工作电压500-----1100V |
时间常数 | 分0.1、0.4、3秒三档可调 |
保 护 | 高压连锁保护,温度保护 |
狭 缝 | 4′、5′、6′ |
可测晶体重量 | 最重30KG的晶棒 |
可测晶体直径GA | Φ2-------Φ6英寸晶圆片 |
可测晶棒长度GC | Φ2-------Φ6英寸,400毫米长晶棒 |
工作位 | 双测角仪、双工作台 |
外型尺寸 | 1140mm×650mm×1030mm |
仪器重量 | 200KG |
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设备自验收之日起,保修一年,保修期内在正常使用的情况下,因制造质量等原因出现故障,在接到通知后3天内赶赴现场及时修理。在超过保修期一年后,设备如出现故障时,乙方终身免费负责修理,只收元器件费。(如到现场按实际发生收差旅费)。