YX-7M型X射线晶体定向仪,针对客户测量大直径、长尺寸硅棒而设计。此仪器为双工作位,一侧用于测3-8英寸晶片111、100面,还可测晶棒参考面110。另一侧用于测直径3-8英寸,长800mm晶棒111、100面。
X射线晶体定向仪两边测角仪用户可根据本公司样品规格形状,选配不同的测角台,G系列测角仪(GA、GB、GC、GD、GE、GF)。
电路指标符合YX-2参数。
主要参数:
项目 | 参数 | 说明 |
晶棒直径 | 5-8英寸 | 最大12寸 |
晶棒长度 | 800mm | |
样品板面积 | 宽42mm、高95mm | |
定向精度 | ±30″ | |
数显读数 | 10″ | |
显示器 | 外置 | |
尺寸 | 1210×810×1420(mm) | |
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