产品简介:
残余气体分析仪（RGA）/质谱仪 Residual Gas Analysis/Mass Spectrometry 品牌:MKS
MicroVision 2 产品的技术是基于 MKS 残余气体分析质谱传感头和气体监控系统的核心技术， 利用最先进的射频电路模块和数据采集电路模块， 其拥有卓越的性能， 为要求最严格的应用所需；双CPU提供了高稳定的运行、快速和宽范围的动态扫描， 使得工艺偏差和气体成分改变的监测变得很容易及卓越的通讯功能。 灵活的输入输出性能，易与机台和其他传感器连接。质量数范围：1-300 可选，双检测器配置。
eVision™ 2 基于以太网口的低成本的残余气分析仪。 利用Web浏览器或通过 EasyView 软件方便地操作系统。质量数范围：1-200 可选，双检测器配置可选。工艺监控 TOOLweb® 工艺和工艺腔环境监测。 - Vision 2000-B™ 真空本底残余气体分析仪。
- Vision 2000-C™ 化学气相沉积 (CVD) 工艺残余气体分析仪。
- Vision 2000-E™ 刻蚀 (Etch) 工艺残余气体分析仪。
- Vision 2000-P™ 物理气相沉积 (PVD) 工艺残余气体分析仪。
- 200/300mm Resist-Torr® 光刻胶监测器。
- HPQ3 高压残余气体分析仪，主要用于PVD工艺气体检测。大气压气体分析仪 Cirrus™ 2 四极质谱仪。 工作在大气压力下的桌上型四极质谱仪，可用于在线测量和分析气体及气体组成
