六氟化钨（WF6）在室温下是一种无色的气体，其密度是已知气体中的。分子量为297.84，其熔点2.3℃，沸点17.2℃，15℃时液体密度3.441 g／cm3， WF6在水中可迅速水解生成WO3和HF，有时还有钨的氟氧化物等中间产物生成。WF6是一种强氟化剂，用于半导体产业中晶圆生产过程的外延片的钨沉积。