六氟化硫（SF6）在常温、常压下为无色、无臭、无毒、无腐蚀性、不燃、不爆炸的气体，分子量146，其密度约为空气密度的5倍，液体密度1．88g／ml，其升华点一63．7~C，熔点一50．7~C，SF6具有良好的化学稳定性和热稳定性。用于TFT-LCD、半导体和太阳能面板等领域化学气相沉积的清洗剂和等离子蚀刻剂。