三氟化氮（NF3）是一种无色无味的气体，其本身不可燃，但能助燃。当温度超过350℃时会缓慢分解产生强氧化性氟，在高温下它是一种强氧化剂。分子量：71.002，液体密度：1554 kg/m3（1atm，沸点时气体密度：2.95 kg/m3（1atm,21℃）。用于半导体、TFT-LCD、光伏产业中的化学气相沉积池的清洗剂和等离子蚀刻剂