正性光刻胶分为粘性增强正性光刻胶。
粘度增强正胶的应用是湿刻、反应离子束刻蚀、离子植入、电镀。
正胶
光胶
厚度
PR1-500A
0.4μm ～ 0.9μm
PR1-1000A
0.7μm ～2.0μm
PR1-1500A
1.3μm ～3.0μm
PR1-2000A
1.7μm ～4.0μm
PR1-4000A
3.7μm ～ 10.0μm
PR1-12000A
10.0μm ～ 25.0μm
PR1系列正胶耐热温度=110 ℃
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