C&D smartPro P8010 高级线性跟踪系统是一个配方驱动的系
统，用于对晶圆涂胶和显影，强大的 Rabbit 微处理器和直观的
图形用户界面 (GUI)使其具有空前的线性追踪系统能力。该系统
具有各种功能，包括海量配方存储、数据记录、手动操作模式
和系统联网。该系统可配置用于涂胶、显影、烘烤、涂底和冷
却的模块。

优点

•  可大大减少编程错误

•  可从 SVG 8x 插件架升级

•  操作组件可进行故障处理和维护。

•  高产量涂胶和显影

•  升级的 ATS 臂可提高重复性

特点

•  可加工 50 毫米至 200 毫米基片

•  操作系统基于 PC Windows，配有 smartPro GUI（图形用

户界面）

•  可下载条码和配方

•  低湍流捕获杯

•  CE 标志证明系统满足 EU 要求

系统选配件：

•  防止干燥的涂胶臂蒸汽环境

•  定制化学品柜

•  全封闭顶罩

•  双尺寸桥接，无需转换硬件

•  次微米能力

•  高性能电机，配有数字控制器，可提高均匀性和可靠性

•  溢流暴露

•  符合 SECS/GEM

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