用于lift-off的负性光刻胶
用于lift-off的负性光刻胶 |
耐高温型光刻胶 | 光刻胶 NR7-1000PY NR7-1500PY NR7-3000PY NR7-6000PY | 厚度 0.7µm - 2.1µm 1.1µm - 3.1µm 2.1µm - 6.3µm 5.0µm - 12.2µm | 在180度(℃)时, NR-PY型负性光刻胶通过曝光能量,易于控制侧壁的角度;在小于120度(℃)的制程中,NR1 和 NR7系列光刻胶易于在25度(℃)去胶 |
| 良好粘附性光刻胶 | 光刻胶 NR9-1000PY NR9-1500PY NR9-3000PY NR9-6000PY NR9-8000 | 厚度 0.7µm - 2.1µm 1.1µm - 3.1µm 2.1µm - 6.3µm 5.0µm - 12.2µm 6.0µm - 25.0µm | 在100度(℃)时, NR9系列光刻胶有很好的粘附性,且易于在25度(℃)去胶. |
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应用
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无需使用增粘剂,采用单层lift-off工艺实现金属和电介质图案的制作
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可作为器件的永久部件(比如隔离层)
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特性
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在显影过程中形成底切
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厚度范围: 0.7 - 25.0 µm
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通过曝光能量易于控制侧壁的角度
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对小于380nm的波长有很好的灵敏度
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对生产率的影响
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省去了金属和电介质图案的干法刻蚀
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省去了双层胶