离子刻蚀光刻胶
耐高温

光刻胶型号
NR71-250P
NR71-1000P
NR71-1500P
NR71-3000P
NR71-6000P
NR5-8000

厚度范围
0.2µm - 0.6µm
0.7µm - 2.1µm
1.1µm - 3.1µm
2.1µm - 6.3µm
5.0µm - 12.2µm
5.8µm - 100µm

耐温150度（℃）.
光刻胶在离子刻蚀方面有很好的选择性，在一些条件下优于常用的正胶25%~30%.
对于小于120度（℃）的制程，NR5和NR71可在25度（℃）去胶.

湿法刻蚀光刻胶
粘附性好

光刻胶型号
NR9-250P
NR9-1000P
NR9-1500P
NR9-3000P
NR9-6000P
NR9-8000P

厚度范围
0.2µm - 0.6µm
0.7µm - 2.1µm
1.1µm - 3.1µm
2.1µm - 6.3µm
5.0µm - 12.2µm
6.0µm - 100.0µm

温度在100度（℃）时，
NR9系列光刻胶有很好的粘附性，且易于在25度（℃）去胶.