生产-- 高质量的IC级、光学级等各种硅片。同时为了一些客户的特别需求,还可以定制。
尺寸:1" 2" 3" 4" 5" 6" 8" 12" 以及特殊尺寸和规格硅片
表面:单抛片、双抛片、研磨片、腐蚀片、切割片晶向: \ \ \ 以及各种偏角度的硅片
厚度: 100um 200um 300um 400um 500um 1mm 5mm等各种厚度,厚度公差+-10um,
TTV< 10um或按客户要求,粗糙度<0.2nm
导电类型: N-type、 P-type、undope (本征高阻)
单晶方式: 直拉(CZ)、区熔(FZ)、NTD(中照)
电阻率: 重掺最低可达 <0.001 ohm.cm, 低掺常规1~10 ohm.com ,
中照常规500~800ohm.cm,区熔本征:> 1000 ohm.cm, >3000 ohm.cm,
>5000 ohm.cm,>8000 ohm.cm