美国丹顿真空设备有限公司是世界真空镀膜设备制造商,成立于1964年。丹顿是美国军方签约的设备供应商,为美国军品研发和制造提供真空镀膜设备。作为美国老牌“军工”企业,丹顿真空以设备的实用性和可靠性见长。目前,丹顿真空已为全球客户设计制造了总数超过5千台的各种规格的电阻/电子束蒸发、磁控溅射、离子束溅射/刻蚀和等离子体化学气相沉积镀膜系统,产品广泛应用于科研开发、小规模制造和工业生产等领域。
Desktop Pro提供了一种高性能,小巧,实惠的磁控溅射系统。
设备优点:※ 节省空间:Desktop Pro只需要不到36英寸的空间(0.9m)
※ 节省费用:一个电源可以驱动两个靶枪
※ 均匀性好:倾斜的靶枪和旋转工件盘使得在整个工件盘上达到5%的镀膜均匀性
※ 抽真空速度快:抽速65lps的涡轮分子泵,保证系统优秀的抽真空性能和对反应气体的负载能力
※ 可操作性:强大的控制系统基于PLC的触摸屏控制系统提供下列操作模式:维修模式,手动操作模式和半自动操作模式
※ 安全设计:互锁保护避免不适当操作对人员和设备的损害
技术特点:※
标准配置两个直径2英寸的溅射靶材
※ 可以处理最大直径为4英寸的工件
※ 直流溅射,射频溅射
※ 共溅射
※ 工艺气体
※ 触摸屏控制
典型应用※ 磁控溅射
※ 材料研究
※ 产品质量控制和分析
※ 半导体失效分析
※ 纳米技术
※ 复合半导体