SAM 300 超声波扫描显微镜

   SAM 300 超声波扫描显微镜是一款用于质量及工艺控制、科研方面的专业无损检测设备，采用了最新的射频和超声换能器技术，频率可高达400MHz，简单易用的图形用户界面提供了强大的功能，可轻松应对各种复杂的超声检测工作。



　　SAM 300 是基于最新的产品技术和研究成果为用户量身定制的一套符合行业标准的核心平台，其扫描台采用超高速线性马达和磁悬浮技术，可精确处理样品的尺寸达 320×320×45mm（长/宽/高），超声频率范围达500MHz，换能器频率范围为5-400MHz。

 新增加的双工位机台和样品吸盘，对微小样品不需要采用胶粘的方式固定样品，同时可放置大量样品，一次性同时扫描，极大提高检测效率。 

超声波扫描显微镜的主要用途：

（1）材料的密度及晶格组织分布

（2）材料内部的裂纹

（3）材料内部分层缺陷，夹杂物等

（4）材料的杂质颗粒，夹杂物，沉淀物等

（5）材料的空洞，气泡，间隙等

超声波扫描显微镜的应用领域：

（1）在半导体及太阳能晶锭材料上的应用：分析晶锭内部缺陷等。

（2）在半导体Wafer和太阳能晶圆上的应用：涂覆后和印刷后晶圆片上的分层缺陷等。

（3）在半导体封装检测上的应用：塑封层、芯片顶部、芯片粘接层、导线框、BGA 样品以及Flip Chip Underfill 上的分层缺陷等。

（4）在SMT贴装电路器件上的应用

贴装后的MLF器件检测的重点是金线周围、基底和引出线之间的的分层缺陷，检测SMD贴片电容的内部缺陷等。

（5）在MEMS器件上的应用：晶圆键合的超声检测。

（6）在其他工业产品上的应用：钻头材料焊接面的结合情况，电池密封性的超声检测。

（7）在材料科学领域的应用：镀层界面、铬合金镀层界面、镀膜层界面、多碳合金的超声金相分析、材料的硬度分析、材料内部的裂纹分析、高性能陶瓷内部的裂纹分析等。

（8）在生物医疗研究领域的应用：活体细胞组织裂变过程，不同活体细胞组织裂变过程，骨骼切片的超声图像等。

主要技术参数：



机械部分:

驱动：X/Y两轴超高速线性马达系统, X / Y 轴具有内置磁力悬浮机构，在高速扫描过程中可隔绝振动的影响 

扫描范围：最小 200×200μm    最大 320×320mm

最大扫描速率：> 1500mm/s

扫描重复精度：+/-0.1μm

Z-轴驱动：电机驱动，移动范围100mm

电子部分:

射频接口：1×500MHz

信号转换：1×500Msample/sAD模数转换卡

电脑控制：Windows 7 操作系统

软件部分:

主要扫描模式：

A-，B-，C-，D-，G-，P-，S-，T-，X-，3D-，顺序扫描，自动扫描，HQ扫描，快速傅里叶变换（FFT），B-scan定量测量，包括渡越时间功能的A-scan数字波形实时显示，实时3D扫描，预扫描和快速预扫描模式等