外壳:涂层铝,泵、电子控制、处理腔体、发生器全部安装在内
脚支架:697W×1513H×1127D(mm)
腔体:结构:不锈钢11AWG,铝支
腔体尺寸:457W×457H×610D(mm)
可调整架最大数量:14
电源架工作规格:349W×425D(mm)
接地架工作规格:384W×425D(mm)
RF功率:600W,固态自动调整(可升级为1000W)
气体控制:4个质量流量控制器
控制器:带触摸屏的PLC控制
泵系统:1415LPM(50CFM)带有油雾过滤器;
设备需求:电源200~240VAC,25A