镀膜前要抽真空。抽真空步骤如下：
1、插上电源插头，打开热扩散泵的冷却水开关。
2、关闭高真空蝶阀，关死三通蝶阀，利用机械泵抽真空，将复合真空计（这里用热电偶真空计测量真空度）调节到测量储气室的真空度，达到6.7Pa即可。
3、拉出三通蝶阀，抽真空室。当真空室的真空度达到6.7Pa左右时，打开热扩散泵电源，加热四十分钟左右，期间来回抽真空室与储气室。
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4、推进三通蝶阀，打开高真空蝶阀，这里用热扩散泵抽真空室，这时继续开着机械泵，当复合电离计显示真空度为10-1Pa时，打开灯丝（这里用热阴极电离真空计测量真空度），根据真空度的不断减小，调小测量范围，最终达到5′10-3Pa。
（2）真空完成后进行镀膜。
打开镀膜开关，将加热电流调至40A左右。在真空室中，利用源加热器，对制作薄膜的材料进行加热蒸发，使其淀积在适当的表面上。当蒸汽粒子遇到温度较低的工件表面时，就会在被镀工件表面沉积一层薄膜。

（3）实验结束后，先将加热电流调为0，关闭加热开关，关闭灯丝，关闭复合真空计电源关闭，关闭热扩散泵，等到热扩散泵冷却后，关闭机械泵，关闭冷却水。

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