真空泵的性能参数
1）真空泵的极限压力
泵的极限压力单位是Pa，是指泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压力。泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试验罩，并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压力之比。简称泵的抽速。
抽速是真空泵的重要性能指标之一。由于在不同压力下，相同的体积流率对应有不同的质量流率，所以在计算体积流率量值时，必须指明所对应的气体压力。
3）真空泵的抽气量
真空泵的抽气量单位是Pa m3/s或Pa l/s。是指泵入口的气体流量。
可压缩流体与不可压缩流体，流量单位不一致。如对水，我们就说流量为
10m3/s，不管是在1个大气压下，还是十个大气压下，它的质量和体积都可以认为是不变的了；但对于可压缩的流体，它的流量就必须加压力单位来构成了，因为在一个大气压下10m3/s的流速，而到了十个大气压下就只有1m3/s了，即有
5353 10?10Pa?m/s?10?10?1Pa?m/s
4）泵的前级压力
真空泵的前级压力单位是Pa，它是指排气压力低于一个大气压的真空泵的出口压力。

例如，不带溢流阀的罗茨真空泵，油扩散泵都不能直接排大气，必须有前级泵抽到它们的最大能够启动压力之下，在忽略中间管道流导的情况下，这个压力就是前级泵所达到的压力，即主泵的前级压力。

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