1. 有机柔性衬底材料进行微纳米金属结构的加工，例如有机玻璃（PMMA），或者PET等有机树脂类薄膜上进行亚微米、纳米级金属线条结构的加工制作，具有成熟的加工工艺，尤其是生长Au材料。

图片展示：有机玻璃（PMMA）上微米级金网格制作，最细线条做到1um,目前样品尺寸可达300*300mm，厚度可达30mm。

2. ALD生长TiO2，ZnO薄膜，应用于透明导电薄膜等，通过ALD原子层沉积的方法生长均匀、致密的TiO2薄膜，厚度可达300nm，ZnO薄膜厚度可达250nm

3. 生长低应力SiNx薄膜，最大可做到8英寸片，后续辅佐以薄膜耐KOH湿法腐蚀，不易破损，是制作腔体结构、薄膜类器件良好的基础材料

4. 硅片、石英片、玻璃片等各种基片，蒸发、溅射Cr、Ti、Au、Ni、Al、Cu、Zn、FeNi磁性材料合金等各种金属，也可进行反应离子溅射，TiO2、ZnO、AlN、AL2O3、SiO2等

5. 玻璃加工：石英玻璃、硼硅玻璃、无碱玻璃

玻璃晶圆表面微结构加工

在晶圆表面上进行微结构与腔体的加工.

孔径: 最小 30 μm (0.03mm).

凹槽: 最小 10 μm (0.01mm).

切沟: 最小 10 μm (0.01mm).

加工技术: 喷砂, 超音波, CNC钻孔, 湿法蚀刻, 模造, 雷射等方式来加工客制化的腔体, 刻沟, 盲孔, 与穿孔.