冷冻机工作原理：通常在高真空腔内，水气分子是最典型的污染气体，占腔内残余气体 65% 到 95% ，当真空度达到 10-4 mbar 时，水汽分子会非常难抽，为了快速的达到较高的真空度， 研发出水汽深冷泵，快速吸附真空腔内的水汽，辅助抽真空，极短的时间达到10-8 mbar 高真空。
Fast Cycle Water Vapor Cryopump 快速闭环水气深冷泵-冷冻机，通过使用专利的 无毒环保型冷媒，利用麦斯纳（Meissner）吸收原理，使水气分子在低温盘管（Cryocoil）的超低温表面上凝结从而被捕集。低温盘管可直接安装在真空腔中，根据客户腔体定制。
应用：真空镀膜(溅镀、蒸镀)一般使用油扩散泵抽真空，腔体内会残留大量水汽和油蒸汽，不但影响抽真空的时间，水汽和油蒸汽还是镀膜工件主要的污染源，从而影响镀膜产品的产量和质量， 冷冻机在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气，真空抽气时间缩短 75%，企业产能可增加 20% 到 100%！l
冷冻机利用新型无毒环保型冷媒，可完全替代目前液氮 LN2 冷冻法。与传统 LN2 冷却法对比，冷媒可循环使用，更加降低了企业成本。
组成：
A： 冷冻机主机（铜环和轮子可以选配，方便运输）
B：外部冷凝管(外部连接管)
C：Feedthrough
D：真空腔
E：冷盘(低温盘管)
目前在售的 型号对比：
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型号 |
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最大负载 Watts |
4,000 |
2,500 |
1,000 |
1,500 |
3,600 |
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抽水汽效率 l/s |
220,000 |
140,000 |
50,000 |
70,000 |
200,000 |
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极限真空 mbar |
7 x 10-8 |
1 x 10-9 |
3x10-9 |
8x10-9 |
4x10-8 |
* Polycold 已经停产，替代型号
： 冷媒采用专利新型无毒环保型冷媒，不易燃，我司可提供 MSDS 和上门灌装冷媒服务，原装冷媒采用标准钢瓶包装，外套纸箱，部分型号备有现货
原装冷媒型号：
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型号 |
PFC-552 HC 原装冷媒 |
PFC-672 原装冷媒 |
PFC-1102 原装冷媒 |
MaxCool 4000 H |
MaxCool 2500 L |
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数量 |
1套2瓶 |
1套2瓶 |
1套3瓶 |
1套3瓶 |
1套3瓶 |
美国 Brooks 旗下 ，超过40年的研发及制造经验。 辅助抽真空，在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气，帮助企业显著提升产能和镀膜质量。 广泛应用于镀膜和半导体厂商。上海伯东是美国 中国地区唯一指定总代理，全权负责 销售和售后维修服务。
上海伯东主营真空品牌:德国 真空设备;美国 Brooks 冷冻机;美国 考夫曼离子源;美国 真空闸阀:美国 (Temptronic)高低温循环试验机;日本 离子蚀刻机等。
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