冷冻机工作原理:通常在高真空腔内,水气分子是最典型的污染气体,占腔内残余气体 65% 到 95% ,当真空度达到 10-4 mbar 时,水汽分子会非常难抽,为了快速的达到较高的真空度, 研发出水汽深冷泵,快速吸附真空腔内的水汽,辅助抽真空,极短的时间达到10-8 mbar 高真空。
Fast Cycle Water Vapor Cryopump 快速闭环水气深冷泵-冷冻机,通过使用专利的 无毒环保型冷媒,利用麦斯纳(Meissner)吸收原理,使水气分子在低温盘管(Cryocoil)的超低温表面上凝结从而被捕集。低温盘管可直接安装在真空腔中,根据客户腔体定制。
应用:真空镀膜(溅镀、蒸镀)一般使用油扩散泵抽真空,腔体内会残留大量水汽和油蒸汽,不但影响抽真空的时间,水汽和油蒸汽还是镀膜工件主要的污染源,从而影响镀膜产品的产量和质量, 冷冻机在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气,真空抽气时间缩短 75%,企业产能可增加 20% 到 100%!l
冷冻机利用新型无毒环保型冷媒,可完全替代目前液氮 LN2 冷冻法。与传统 LN2 冷却法对比,冷媒可循环使用,更加降低了企业成本。
组成:
A: 冷冻机主机(铜环和轮子可以选配,方便运输)
B:外部冷凝管(外部连接管)
C:Feedthrough
D:真空腔
E:冷盘(低温盘管)
目前在售的 型号对比:
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型号
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最大负载 Watts
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4,000
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2,500
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1,000
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1,500
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3,600
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抽水汽效率 l/s
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220,000
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140,000
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50,000
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70,000
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200,000
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极限真空 mbar
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7 x 10-8
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1 x 10-9
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3x10-9
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8x10-9
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4x10-8
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* Polycold 已经停产,替代型号
: 冷媒采用专利新型无毒环保型冷媒,不易燃,我司可提供 MSDS 和上门灌装冷媒服务,原装冷媒采用标准钢瓶包装,外套纸箱,部分型号备有现货
原装冷媒型号:
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型号
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PFC-552 HC 原装冷媒
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PFC-672 原装冷媒
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PFC-1102 原装冷媒
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MaxCool 4000 H
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MaxCool 2500 L
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数量
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1套2瓶
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1套2瓶
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1套3瓶
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1套3瓶
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1套3瓶
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美国 Brooks 旗下 ,超过40年的研发及制造经验。 辅助抽真空,在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气,帮助企业显著提升产能和镀膜质量。 广泛应用于镀膜和半导体厂商。上海伯东是美国 中国地区唯一指定总代理,全权负责 销售和售后维修服务。
上海伯东主营真空品牌:德国 真空设备;美国 Brooks
冷冻机;美国 考夫曼离子源;美国 真空闸阀:美国 (Temptronic)高低温循环试验机;日本 离子蚀刻机等。
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