4000 H
上海伯东代理美国 Brooks 旗下 MaxCool 4000 H 水汽深冷泵/冷冻机,利用低温冷媒(-100度)通过盘管,将水蒸气吸附在冷盘上,快速吸附占真空腔内残留气体 65% 到 95% 的水汽。 MaxCool 4000 H 抽水气效率高达 220,000 l/s,在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气,目前 主要应用于半导体和真空镀膜行业,客户通过使用 ,产能可增加 20% 到 100%。MaxCool 4000 H 提供单管路和双管路配置满足您的不同应用,可搭配伯东德国 Pfeiffer 分子泵,罗茨泵,干泵和美国 KRI 共同使用。冷冻机 MaxCool 4000 H 是旧款型号PFC-1102 HC全新升级款!~
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冷冻机利用新型无毒环保型冷媒,可完全替代目前液氮 LN2 冷冻法。与传统 LN2 冷却法对比,冷媒可循环使用,大大降低了企业成本。 冷冻机主要应用于真空镀膜(溅镀、蒸镀)、半导体(晶圆加工)行业。
4000 H 优点:
低温范围:-98 至 -133C
真空抽气时间缩短 75%
高效的抽水汽效率:327,800 到 220,000 l/s
产品产量提高 20% 到 100%
在工艺过程中降低水蒸汽的分压力,从而获得更高质量、更好的附着力、和多重沉积膜特性
相对于液氮制冷 LN2, 选用无毒、环保型冷媒,可循环使用
低功率,低能耗,最大负载 4000 W
冷冻机组成:
A:Polycold 冷冻机主机(铜环和轮子可以选配,方便运输)
B:外部冷凝管(外部连接管)
C:Feedthrough
D:真空腔
E:冷盘(低温盘管)
4000 H 主要技术参数:
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标准性能
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最大负载:Watts
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4000
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抽水汽效率(理论值):l/s
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327,800
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保守抽速:l/s
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220,000
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极限真空:mbar
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7 x 10-8
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启动压力:atm
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1
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除霜时间:分钟
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5.5
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低温盘管,连接管路
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盘管表面面积:m2
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2.2
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单管路:
盘管直径:mm
盘管长度:m
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16
43
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双管路:
盘管直径:mm
盘管长度:m
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16
21.9
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标准外部连接管长度:m
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2.44
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配套设施
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冷却水流量:rate l/min.
13 C˚
26 C˚
29 C˚
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13.6
27.3
54.1
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功率 kW
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19.2
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工作噪音(最大):db
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78
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占地空间(最小):m3
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34
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重量:kg
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533
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4000 H 抽水汽效率:
美国 Brooks 旗下 ,超过40年的研发及制造经验。 辅助抽真空,在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气,帮助企业显著提升产能和镀膜质量。 广泛应用于镀膜和半导体厂商。上海伯东是美国 中国地区唯一指定总代理,全权负责 销售和售后维修服务。
上海伯东主营真空品牌:德国 真空设备;美国 Brooks
冷冻机;美国 考夫曼离子源;美国 真空闸阀:美国 (Temptronic)高低温循环试验机;日本 离子蚀刻机等。
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上海伯东:叶女士 台湾伯东:王女士
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