产品品牌：Partulab佰力博
产品型号：HRMS-800
产品类型：高温四探针测量系统
产品产地：中国
产品保修：1年
产品介绍:
佰力博自主研发了HRMS-800高温四探针测量系统主要是为了更方便的研究高温条件下半导体材料的导电性能，采用的双电测组合四探针法，该系统可以测量高温、真空气氛下薄膜方块电阻和薄层电阻率；测量半导体薄膜和薄片的导电性能；测量硅、锗单晶电阻率；测量硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻；测量导电玻璃和其他导电薄膜的方块电阻。HRMS-800高温四探针测量系统广泛应用于高校科研院所和企业单位半导体薄膜和薄片材料电学性能研究。
HRMS-800高温四探针测量系统功能特点：
1、采用双电测组合测量模式，不用进行系数修正；
2、可以测量高温、真空、气氛条件下薄膜方块电阻和薄层电阻率；
3、可以分析方块电阻和电阻率随温度变化的曲线；
4、可以自动调节施加在样品的测试电压，以防样品击穿；
5、可以与美国keithley2400数字源表配套测量半导体材料的导电性能；
6、可以通过USB传输数据，数据格式是Excel格式。
高温四探针测量系统技术规格：
测量温度：室温---600°C ;
控温精度：±1℃ ，显示精度：±0.1℃；
升温斜率：1-5°C/min；
测量精度：0.05%；
电阻率：10-5 ～105 Ω.cm ;
电导率：10-5 ～105 s/cm
方块电阻：10-4 ～106 Ω/□；
电阻：10-5 ～105 Ω；
探针间距：2±0.01mm；
探针压力：0~2kg可调；
针间绝缘电阻：≥1000MΩ；
