高温四探针测量系统HRMS-800是由佰力博自主研发的，可以实现室温到600摄氏度、真空、气氛测量条件，测量硅、棒料、晶片电阻率和硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻及其他导电薄膜的方块电阻。

产品品牌：Partulab佰力博

产品型号：HRMS-800

产品产地：中国

产品保修：1年

高温四探针测量系统功能特点：

1.采用双电测组合，有效提高测量精准度；

2.需要搭配keithley2400数字源表使用；

3.采用直排四探针测量原理和单晶硅物理测量方法；

4. 控温和测温采用同一个传感器，保证样品每次采集的温度都是样品实际温度；

5. 主机、软件、高温炉等集成一体，可视化操作；

高温四探针测量系统物理性能：

供电：220V±10%，50Hz；

功率：1100VA最大，电流5A；

工作环境：0℃-55℃，存储条件：-40℃-70℃；

设备尺寸：666mmx425mmx395mm；

重量：30kg；

预热时间：30min；

保修：1年

高温四探针测量系统技术规格：

温度范围：室温---600°C ，±1℃控温精度；

升降温斜率： 1-10°C/min，典型值3°C/min；

电阻：10-5 ～105 Ω；

电阻率：10-5 ～105 Ω.cm ;

方块电阻：10-4 ～106 Ω/□；

电导率：10-5 ～105 s/cm；