HRMS-800高温四探针测量系统由佰力博科技为您提供详细的产品信息、产品价格图片等,您也可以直接联系厂家获取HRMS-800高温四探针测量系统的详细信息。
产品品牌:Partulab佰力博
产品型号:HRMS-800
产品尺寸:666×425×395mm
产品产地:中国
产品保修:1年
产品介绍:
佰力博自主研发HRMS-800高温四探针测量系统是为了更方便的研究在高温条件下的半导体的导电性能,该系统可以完全实现在高温、真空及惰性气氛条件下测量硅、锗单晶(棒料、晶片)电阻率和外延层、扩散层和离子层的方块电阻及测量其他方块电阻。
功能特性:
1.四探针测量软件可以实现常温、变温、恒温条件下薄层方块电阻和薄片电阻率的测量,
2.高温四探针测量系统与美国Keithley2400源表配合使用,无需手动操作keithley2400源表,全自动测试,探针自检,确保仪器稳定可靠;
3.手动升降平台控制夹具升降,将样品和夹具一起热沉到高温炉中,并保证样品和测量传感器尽可能接近,确保测量温度和样品温度的一致性;
4.采用一体化集成设计,开机启动触摸屏控制和显示,操作简单直观,使用方便;
5.测量功能丰富,可以测量电阻、电阻率、方块电阻、电导率,可以分析方块电阻和电阻率随温度变化的曲线;
6. 保证夹具良好接触,增加探针自检功能和薄膜均匀性测试功能。
高温四探针测量系统技术规格:
电阻:10-5 ~105 Ω;
电阻率:10-5 ~105 Ω.cm ;
电导率:10-5 ~105 s/cm
温度范围:室温---600°C ,±1℃控温精度;
升降温斜率: 1-10°C/min,典型值3°C/min;
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