HRMS-800高温四探针测量系统是由佰力博科技自主研发的，主要用于测试高温、真空及惰性气氛下半导体的导电性能。采用一体化集成设计，开机启动触摸屏控制和显示，操作简单直观，使用方便，手动升降平台控制夹具升降，将样品和夹具一起热沉到高温炉中，并保证样品和测量传感器尽可能接近，确保测量温度和样品温度的一致性；与美国Keithley2400源表配合使用，无需手动操作keithley2400源表。
高温四探针测量系统功能特性：
1. 采用双电测组合，提高测量精准度
2. 分析软件设计高智能化，输入样品面积和厚度数据，即可自动计算样品的电阻率PV
3. 可分析电阻率pv与温度T之间的变化曲线
4. 能在常温、变温以及恒温条件下I-V、R-T、R-t等测量
5. 能与Keithley2400或2600数字多用表配套
高温四探针测量系统技术规格：
测量温度：室温---600℃;
控温精度：±1℃ ；
显示精度：±0.1℃；
升温斜率：1-5°C/min；
测量精度：0.05%；
电阻率：10-5 ～105 Ω.cm ;
电导率：10-5 ～105 s/cm
方块电阻：10-4 ～106 Ω/□；
电阻：10-5 ～105 Ω；
探针间距：2±0.01mm；
探针压力：0~2kg可调；
针间绝缘材料：99陶瓷或红宝石；
针间绝缘电阻：≥1000MΩ；
真空度：10Pa（标配），高真空另选；
可测半导体材料尺寸：薄膜直径15-30mm，厚度小于4mm；
