垂直举升和 Z 轴直驱纳米定位器

Aerotech 的 ANT 系列平台是全球首款行程大于 25 mm 的纳米级定位系统。 ANT95-L-Z 和 ANT130-L-Z 交叉滚子平台具有一流的

组合速度、精度、分辨率、重复性好性、可靠性和尺寸，并可提供精度等级。随着 ANT 平台系列的发展，这些线性平台展现出较

Aerotech 一代 ANT 系列更强的运动性能

机械规格

型号ANT-20G-50 ANT-20G-90 ANT-20G-110 ANT-20G-160

Aerotech 旋转和测角器平台可结合线性平台，形成多轴系统。这可让

任意给定的硬件发挥大的灵活性。

旋转角度20° 20° 20° 20°

精度±18 弧秒±10 弧秒±8 弧秒±6 弧秒

多轴功能

ANT130-R系列的设计能够同Aerotech ANT直线平台产品兼容及简易集成。结合这些平台能够为几乎所有纳米制造业和检测应用提供定位精度，稳定性和小尺寸性能等特性。

多轴功能

ANT130-R系列的设计能够同Aerotech ANT直线平台产品兼容及简易集成。结合这些平台能够为几乎所有纳米制造业和检测应用提供定位精度，稳定性和小尺寸性能等特性。