机械规格

型号ANT-20G-50 ANT-20G-90 ANT-20G-110 ANT-20G-160

Aerotech 旋转和测角器平台可结合线性平台，形成多轴系统。这可让

任意给定的硬件发挥大的灵活性。

旋转角度20° 20° 20° 20°

精度±18 弧秒±10 弧秒±8 弧秒±6 弧秒

非接触直接驱动

直线电机驱动也能提供高速和加速度的优势。紧凑且大功率的直线电机驱动使ANT130-L平台空载可达到1g的峰值加速度和350mm/s的高速度。产生了明显比高精度丝杠驱动或业内其他平台更优胜的杰出生产力的高精度设备。

ANT130-L-Z系列纳米垂直平移台1.大行程实现纳米定位

2.高分辨率（2纳米），重复定位精度（75纳米），定位精度（300纳米）

3.2纳米的位置稳定性

4.抗爬行十字交叉滚珠轴承

5.高动态特性

ANT130-2404-A

ANT130-1406-B

ANT130-3103-B

ANT130-6202-C

ANT130-6301-A

ANT130-3831-C

ANT130-7809-C

ANT130-3831-B

ANT130-3832-B

ANT130-1406-C

ANT130-1217-C

ANT130-1406-A

ALS5000 直线电机平台

1.适合恶劣环境

2.坚.台面和导轨罩

3.完全整合电缆管理系统

4.高精度，非接触式直线编码器（光栅尺）

5.可选气体净化的密封设计

行程1000mm

精度±1.0um

负载135.0kg